形貌儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
形貌儀該如何進行日常的維護與保養呢？
首先：使用后要及時清理殘渣。原則上，需要測量的樣本是不需要特殊處理的，但是部分測試材料，例如木頭、塑料甚至是人的皮膚、頭發等等，都可能在測試臺留下殘渣。因此，在使用過后一定要及時的清理，保證形貌儀的測試臺的整潔。
第二：測頭是形貌儀的眼睛，如果發生損害或磨損，不能簡單的維修就可以了，一定要及時更換，防止下次測量數據的時候產生的誤差。失之毫厘謬以千里，一點小小的失誤就可能對個人乃至整個工程造成嚴重的后果。
第三：定期保養，調試精度。形貌儀之所以能迅速占領市場，根本原因就在于它的測量速度快、度高。定期對它進行檢視，調試精度，不但能減少誤差，確保測量數據的準確，也有利于延長其使用期限，能在有限的時間內創造出無限的價值。
更新時間：2022-09-20
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三坐標測量儀
