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中圖儀器NS系列臺(tái)階厚度儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。

中圖儀器NS系列薄膜厚度臺(tái)階測量儀集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。它主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

NS系列接觸式臺(tái)階儀測膜厚儀超精密接觸式測量微觀輪廓，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

NS系列接觸式表面形貌臺(tái)階測量儀用于測量臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)，是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率。

NS系列微納樣品接觸式微觀表面臺(tái)階測量儀對(duì)被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對(duì)表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對(duì)于相關(guān)材料的評(píng)定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

中圖儀器NS系列國產(chǎn)探針接觸式臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，用于測量臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)。采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率。