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NS系列精密臺階儀臺階高度重復(fù)性能低于5A，Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達(dá)亞埃米級，且垂直方向動態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結(jié)果穩(wěn)定可靠，重復(fù)性好，精準(zhǔn)拿捏測量的輪廓形貌細(xì)節(jié)。

CEM3000微觀結(jié)構(gòu)檢測掃描電鏡憑借空間分辨率出色和易用性強(qiáng)，用戶能夠非常快捷地進(jìn)行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

CEM3000高分辨力掃描電子顯微鏡操作系統(tǒng)簡便，使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動導(dǎo)航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

NS系列膜厚測量臺階儀臺階高度重復(fù)性能低于5A，Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達(dá)亞埃米級，且垂直方向動態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結(jié)果穩(wěn)定可靠，重復(fù)性好，精準(zhǔn)拿捏測量的輪廓形貌細(xì)節(jié)。

SuperViewW納米級精密測量白光干涉儀測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

中圖儀器sem掃描電鏡檢測儀器操作系統(tǒng)簡便，使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動導(dǎo)航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。